微尺度加工通常是指零件尺寸很小,立足于微细加工方法和纳米加工技术,比如()。A、光刻B、电子束C、离子束加工D、激光束加工

第1题：

加工精度是指零件加工后的实际几何尺寸，主要包括尺寸，形状和位置与理想几何参数相符合的程度。

第2题：

光整加工是最后决定零件形状和尺寸精度的加工工艺方法

第3题：

18、加工精度是指零件加工后的实际几何尺寸，主要包括尺寸，形状和位置与理想几何参数相符合的程度。

第4题：

用微纳米技术加工液压泵阀时，加工时间短、工件温度低、基本变形小。

第5题：

加工精度指加工后零件形状、尺寸和 在与理想零件的符合程度。